集材院应用研发平台针对光刻材料，可提供从性能检测到应用验证的全流程服务，包括树脂、单体、溶剂等材料的性能测试、定 制化成分分析、光刻工艺验证与开发、光刻材料设计仿真等，有效降低光刻材料研发时间及成本。 光刻材料服务能力 🔷 光刻材料表征测试 √树脂、单体、有机溶剂、光刻胶COA 测试 √光刻材料深度分析 🔷 光刻工艺验证 √G line/l line/KrF/ArF光刻胶光刻/刻蚀/去胶工艺 √上机验证 🔷 光刻材料设计仿真 √材料设计 √生产工艺优化 √材料与工艺的构效关系建立 光刻材料测试服务 测试材料 测试服务 测试设备 树脂 分子量与分布 GPC 分子官能团分析 FTIR 紫外吸收及含量分析 UV 热分解温度 TGA 玻璃化转变温度 DSC 金属离子测试 ICPMS 阴离子测试 燃烧炉IC 分子结构分析 NMR 大分子结构分析 MALDI-TOF 水分测试 卡尔费休水分仪 成分分析 热裂解仪 颜色 色度计 有机物单体溶剂 金属离子测试 ICPMS 阴离子测试 IC 颗粒度 液体颗粒计数器 水分测试 卡尔费休水分仪 含量测试 气相gc 低沸点有机物测试 GCMS 高沸点有机物测试 UPLC 光刻胶材料 金属杂质 ICPMS 颗粒度 液体颗粒计数器 含水率 卡尔费休水分仪 粘度 粘度计 密度 密度计 固含量 固含量测试仪 膜厚 椭偏仪、旋涂机 阴离子测试 燃烧炉IC 光刻材料分析 分离纯化 分离层析柱 图谱综合解析 红外，NMR，质谱热裂解，XPS，等 🔻测试设备一览 光刻工艺验证及开发服务 1、工艺验证与优化 AI驱动的贝叶斯优化 以良率为指标，为材料厂生产部门设计时间、温度等工艺参数 2、光刻材料设计 AI与材料科学计算结合 以材料COA为指标，为材料厂研发部门设计材料配方 3、光刻材料-工艺联合应用 以材料应用试验反馈为指标，协同材料厂和FAB厂实现材料应用落地 联系我们
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