集材院应用研发平台针对光刻材料，可提供从性能检测到应用验证的全流程服务，包括树脂、单体、溶剂等材料的性能测试、定 制化成分分析、光刻工艺验证与开发、光刻材料设计仿真等，有效降低光刻材料研发时间及成本。
光刻材料服务能力
🔷 光刻材料表征测试
√树脂、单体、有机溶剂、光刻胶COA 测试
√光刻材料深度分析
🔷 光刻工艺验证
√G line/l line/KrF/ArF光刻胶光刻/刻蚀/去胶工艺
√上机验证
🔷 光刻材料设计仿真
√材料设计
√生产工艺优化
√材料与工艺的构效关系建立
光刻材料测试服务
测试材料 | 测试服务 | 测试设备 |
树脂 | 分子量与分布 | GPC |
分子官能团分析 | FTIR | |
紫外吸收及含量分析 | UV | |
热分解温度 | TGA | |
玻璃化转变温度 | DSC | |
金属离子测试 | ICPMS | |
阴离子测试 | 燃烧炉IC | |
分子结构分析 | NMR | |
大分子结构分析 | MALDI-TOF | |
水分测试 | 卡尔费休水分仪 | |
成分分析 | 热裂解仪 | |
颜色 | 色度计 | |
有机物单体溶剂 | 金属离子测试 | ICPMS |
阴离子测试 | IC | |
颗粒度 | 液体颗粒计数器 | |
水分测试 | 卡尔费休水分仪 | |
含量测试 | 气相gc | |
低沸点有机物测试 | GCMS | |
高沸点有机物测试 | UPLC | |
光刻胶材料 | 金属杂质 | ICPMS |
颗粒度 | 液体颗粒计数器 | |
含水率 | 卡尔费休水分仪 | |
粘度 | 粘度计 | |
密度 | 密度计 | |
固含量 | 固含量测试仪 | |
膜厚 | 椭偏仪、旋涂机 | |
阴离子测试 | 燃烧炉IC | |
光刻材料分析 | 分离纯化 | 分离层析柱 |
图谱综合解析 | 红外，NMR，质谱热裂解，XPS，等 |
🔻测试设备一览
光刻工艺验证及开发服务
1、工艺验证与优化
AI驱动的贝叶斯优化
以良率为指标，为材料厂生产部门设计时间、温度等工艺参数
2、光刻材料设计
AI与材料科学计算结合
以材料COA为指标，为材料厂研发部门设计材料配方
3、光刻材料-工艺联合应用
以材料应用试验反馈为指标，协同材料厂和FAB厂实现材料应用落地
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