集材院应用研发平台的湿电子化学品检测服务,可针对通用化学品和功能性化学品,包括DIW、IPA、HF、HCI、HNO3、H2SO4、H3PO4、H2O2等，提供理化性能测试、定制化成分分析、刻蚀工艺验证等服务。 湿化学品材料服务能力 🔷 湿化学品工艺验证 √ 刻蚀液：刻蚀速率、刻蚀前后颗粒表现、膜厚等 √ 清洗液：清洗前后的颗粒、阴阳离子、总有机碳等 🔷 湿化学品材料表征测试 √ 各类湿化学品COA测试 🔷 配方类化学品计算仿真 √ 材料设计 √ 生产工艺优化 √ 材料与工艺的构效关系建立 湿化学品理化测试 测试 项目 测试 设备 可测试类别 可分析的精度 金属 杂质 电感耦合等离子体质谱仪 ICPMS DIW/ H2O2/ HF/HCI/ HNO3/ H2SO4/ H3PO4/ NMP/ TMAH/ 氨水 针对DIW / H2O2 / HF / H2SO4:10ppt 阴离子 离子色谱仪IC DIW/ H2O2/ IPA 针对DIW:20ppt 针对H2O2:1ppb 液体 颗粒 液体颗粒计数器LPC 各类 湿电子化学品 侦测粒径:0.2μm-2μm 建议浓度:1200pcs/ml 侦测粒径:0.03-0.13μm 建议浓度:40000pcs/ml TOC 总有机碳分析仪TOC DIW/H2O2/HCI/ HNO3/ H2SO4/ H3PO4/ 氨水 针对DIW/ H3PO4:100ppt 针对H2O2/HCI/H2SO4 /Slurry:500ppb 针对氨水:1ppm 表面 张力 接触角测量仪 各类 湿电子化学品 测量范围0-180° 分辨率0.01° 主成分 测试 电位滴定仪/气相色谱 各类无机、有机类湿电子化学品 气相色谱:0.0001% 色度 色度仪 各类 湿电子化学品 电位滴定仪:0.01% pH值 pH计 各类 湿电子化学品 / 密度 密度计/ 天平 各类 湿电子化学品 / 固含量 固含量测试仪 各类 湿电子化学品 / 联系我们
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